SFC5400產品的核心是的.SensirionCMOSens®技術。它結合了很多具有先進信號的精密傳感器元件,在單個芯片上處理從而提供一個校準和溫度補償信號(見圖1)。感謝這種傳感器技術, SFC5400獲得的速度評級,度和可重復性,非常有吸引力的系統(tǒng)成本。由于SFx5400具有出色的長期穩(wěn)定性,因此沒有需要重新校準。 SFC5400提供快的建立時間和高控制范圍以及機械方面的高度靈活性。連接器和通信接口。數字版本還提供多個可選的智能功能氣體和范圍,氣體識別和自檢能力。SFM5400是基于該閥的無閥流量計SFC5400質量流量控制器。它具有相同的功能,作為MFC的性能優(yōu)勢和配置沒有提供控制器功能的對應物。 SFC5400產品實物圖:
數據表SFC5400 / SFM5400質量流量控制器/氣體流量計數據表 - V14? - 超快建立時(低至50 ms)。?
- 出色的精度/可重復性(分別為設定值的0.8%/ 0.1%)
- 寬控制范圍(1000:1)。
- 廣泛的接口選擇:RS485,DeviceNet,IO-Link和模擬電壓/電流
- 廣泛的連接器選擇:下裝,世偉洛克,VCR,VCO,W-Seal
- 多種氣體和氣體識別
- NIST可溯源校準
- MTBF169年
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